【摘要】：正德国SUSS MicroTec公司系一家专注于半导体工业及相关市场设备与技术方案著名供应商,该公司于2010年12月2日宣布与美国Rolith公司签订技术研发合作与专有许可证协议,旨在利用由后者研发的分裂式纳米光刻方法制造一种纳米结构设备,用于大面积基材高产出、高生产效益的纳米光刻技术为可再生能源和绿色建筑市场带来契机。
【关键词】：
光刻技术 纳米光刻 可再生能源 纳米结构 技术方案 研发 许可证协议 半导体工业 相关市场 建筑市场
【分类号】：F416.63
【正文快照】：
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德国SUSS MicroTec公司系一家专注于半导体工业及相关市场设备与技术方案著名供应商,该公司于2010年12月2日宣布与美国Rolith公司签订技术研发合作与专有许可证协议,旨在利用由后者研发的分裂式纳米光刻方法制造一种纳米结构设备,用于大面积基材高产出、高生产效益的纳米光刻
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