美国Thermo(Veeco) MicronX X射线荧光测量仪
产品型号：
ZXR/LXR：用于小样品的经济型
VXR：真空测量环境，增加灵敏度和测量范围
GXR：斑点小，样品量大
MXR：高性能、精密、分辨
你的镀层太薄、样品太小，无法找到满意的检测仪器怎么办？
Thermo Fisher Scientific（赛默飞世尔）、前Thermo Electron Corporation (热电)帮你找到满意的答案!!
赛默飞世尔（Thermo Scientific Fisher Scientific）之前又称为：热电(Thermo Electron Corporation)，维易科(Veeco)
多至6层的镀、涂层精确测厚，多至20个元素的小区域成份分析，多元素图像面分布
测量更小、更快、更薄：美国Thermo MicronX采用高精密的准直器、探测器、信息处理器和计算机等部件比现有其它的XRF仪器可以测量更小的面积、更薄的镀层和更加快捷。
VXR使用一种真空导管的方法，X-射线发生器和探测系统保持真空，灵敏度和精密度可与全部真空室的系统相比。
ZXR标准机械准直器：0.20，0.30mm
LXR标准机械准直器：0.0125*0.5，0.05*0.3，0.1，0.2，0.3mm
GXR标准机械准直器：0.05，0.1，0.2，0.3，0.05*0.2，0.075*0.3mm
聚焦元件：光束最小40um 透射元件：光束最小20um
正比计数器或半导体探测器
Thermo(原Veeco) MicronX X-射线荧光测量仪有以下常用型号
ZXR LXR GXR GXRS GXRC MXRP MXR VXR ZXRL LXRL
更多详细参数，请来电资询
MicroXR微束荧光测厚分析仪
Micro XR测厚仪技术应用：
微电子器件贵金属镀层分析，
半导体，光通讯，微电子，光子学，元器件和磁头，磁盘的镀膜分析。
多层镀膜分析，可同时精确分析6层及各层的厚度。
区域表面的成分不均匀分析，可直接使用仪器进行元素面分布测量。
可给出三维分析结果。
非接触式无损分析，满足对高，精，贵重物品的分析需要。
可分析单元素镀层和多元合金材料镀层。
Micro XR测厚仪技术特点：
采用高通量电制冷探测器和真空导管技术，可获得高灵敏度和高分辨率
采用光学聚焦方式，可获得微束高能量束斑，解决机械准直器微束发射
弱的技术难点
采用高级无标样测量技术，分析准确性，误差小于5%。
利用X-射线荧光分析技术，非接触式的无损测试技术，可完美的用于微电子学，光通信，数据储存器件的金属镀层，金属薄膜的厚度测量
可以同时测量多至六层的技术镀层的厚度和成分。测量或度可以从埃( Å )至微米(um)，也可以测量多至30个元素的块状合金成分。
具有大的样品室窗口，可以满足用户超大样品的需要。
具有超高精度的三轴样品台技术，可自动控制样品台紧密定位，分析任何感性趣的区域。
可经过可变倍率的(50倍-300倍)CCD技术，并通过LCD观察，使用鼠标设置一点，或多个点，自动进行分析。
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