宏观形貌表征：层数或厚度判定、均匀性分析等
微观形貌表征：表面洁净度、平整性等
原子结构表征：原子缺陷、层间堆垛方式、电子能带结构等
光学性能表征：紫外到红外波段透射、反射、吸收性能等
电学性能表征：方块电阻、迁移率、掺杂浓度等
力学性能表征：应力应变，杨氏模量等
热学性能表征：平面热传导、界面热导性能等
电化学性能表征：比表面积、电容电池特性等
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