【北方华创：公司目前在光伏ALD设备领域尚未形成销售】：集微网消息5月26日，北方华创在投资者互动平台针对公司目前在光伏领域情况表示，公司目前在光伏ALD设备领域尚没有形成销售。另外，其称目前公司未来研发方向主要基于刻蚀机、PVD、CVD、ALD、炉管、清洗等六大类设备，沿着先进制程、特色工艺、先进封装三个维度拓展; 研发资金主要投向集成电路装备新工艺应用拓展。2020 年 12 月，北方华创 ICP 刻蚀机交付突破1000 腔，标志着国产刻蚀机得到客户广泛认可。目前，北方华创已建立起丰富而有竞争力的产品体系，广泛应用于半导体、新材料、新能源等领域。
