【关键词】: 微波等离子 金刚石膜 甲烷浓度 质量
【基金】:国家自然科学基金项目(11175137) 武汉工程大学科学教育基金(11111051)
【分类号】:O539;O484.1
【正文快照】:
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加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响 杨胶溪,张恒大,李成明,陈广超,吕反修,唐伟忠,佟玉梅
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CVD金刚石自支撑膜的高温氧化 刘敬明;家建华;张恒大;蒋政;唐伟忠;吕反修;
乙醇对金刚石膜生长特性的影响 李春燕;金曾孙;吕宪义;
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金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术 唐伟忠;于盛旺;李成明;陈广超;吕反修;
氮气流量对金刚石膜生长的影响研究 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;
CVD金刚石膜X-射线衍射分析 刘存业;李建;陈志谦;王跃;
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