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太阳能硅片双束激光划槽方法与装置

关注热度:67   来源:新能源学术论文  作者:王涛 李玉翔 张福军 姚建铨 刘晓雯 李福增 朱超男
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【摘要】:本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%。
【作者单位】: 河北工业大学机械学院;无锡浩波光电子有限公司技术部;天津大学激光与光电子研究所;
【关键词】Z型谐振腔 双束激光 太阳能硅芯片
【基金】:科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目,立项代码:07C26223200378 江苏省高技术研究(工业部分),项目编号:BG2007007
【分类号】:TN249
【正文快照】:
太阳能是当今最为光明的新兴产业,目前存在的问题之一是太阳能硅片划槽加工的产能已跟不上销售的提高。目前国内外流行的都是单束激光的划片机。1单束激光划片机电机、11为Y方向步进电机)。如图1所示,(其中:1为激光器箱体、2为平面反射镜、3为声光Q开关、4为泵浦组件及Nd:YAG


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关键词: Z型谐振腔

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