【关键词】： 微机电系统 可编程光栅 模拟光谱 相关光谱 甲烷
【基金】：辽宁省高校创新团队项目计划基金资助项目(2007T074)
【分类号】：TP212.14
【正文快照】：
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超弹性NiTi合金在球形压痕下的临界载荷分析 阚前华;康国政;
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微机电系统中的粗糙面效应 方文啸;黄钦文;刘欣;
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硅微谐振式加速度计固有谐振频率的提高方法研究 曹宇;董景新;胡淏;
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MEMS惯性器件的新进展及应用 徐爱东;杨拥军;卢新艳;
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