【关键词】： 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率
【基金】：国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB202600) 国家自然科学基金(批准号:60506003) 天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01600) 中国-希腊政府间合作基金和新世纪优秀人才计划资助项目~~
【分类号】：TM914.4
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本征微晶硅材料及其在电池中的应用 高艳涛 ,张晓丹 ,赵颖 ,朱锋 ,魏长春 ,孙建 ,耿新华 ,熊绍珍
VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析 张晓丹 ,高艳涛 ,赵颖 ,朱锋 ,魏长春 ,孙建 ,侯国付 ,薛俊明 ,张德坤 ,任慧志 ,耿新华 ,熊绍珍
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化学源金属诱导多晶硅研究 赵淑云;吴春亚;李娟;刘建平;张晓丹;张丽珠;孟志国;熊绍珍;
相变域硅薄膜材料的光稳定性 王岩;韩晓艳;任慧志;侯国付;郭群超;朱锋;张德坤;孙建;薛俊明;赵颖;耿新华;
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弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响 黄君凯,杨恢东
掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响 揣荣岩;刘晓为;霍明学;宋明浩;王喜莲;潘慧艳;
太阳能电池研究和发展现状 毛爱华
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纳米硅薄膜及其太阳电池研究进展 钟立志;张维佳;吴小文;何宇亮;
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薄膜太阳电池的研究 李素文
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VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析 张晓丹 ,高艳涛 ,赵颖 ,朱锋 ,魏长春 ,孙建 ,侯国付 ,薛俊明 ,张德坤 ,任慧志 ,耿新华 ,熊绍珍
复合绒面透明导电薄膜研究 朱锋,周祯华,熊绍珍,吴春亚,李洪波,麦耀华,薛俊明,耿新华
微量硼掺杂非晶硅的瞬态光电导衰退及其光致变化 张世斌,孔光临,徐艳月,王永谦,刁宏伟,廖显伯
VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测 杨恢东,吴春亚,李洪波,麦耀华,朱锋,周祯华,赵颖,耿新华,熊绍珍
热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性 汪六九,朱美芳,刘丰珍,刘金龙,韩一琴
VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究 张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,吴春亚,高艳涛,侯国付,孙建,耿新华,熊绍珍
甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究 张晓丹 ,赵颖 ,高艳涛 ,朱锋 ,魏长春 ,孙建 ,王岩 ,耿新华 ,熊绍珍
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单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究 张晓丹;赵颖;魏长春;孙福和;王光红;许盛之;岳强;孙建;张德坤;陈新亮;耿新华;熊绍珍;
VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究 张晓丹;张发荣;葛洪;赵颖;
单室沉积p-i--n电池工艺中磷污染问题研究 孙福河;张晓丹;许盛之;王光红;岳强;魏长春;孙建;耿新华;熊绍珍;赵颖;
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VHF-PECVD大面积Showerhead平板电极间电场和流场的数值模拟 葛洪;张晓丹;赵颖;
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