【关键词】： 氧钝化 快速热处理(RTP) 快速热氧化(RTO) 减反膜
【分类号】：O482
【正文快照】：
您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容
硅中氧行为研究的新进展 胡才雄，夏锦禄，张建宇
硅光单体电源铝背场吸杂对非平衡少子寿命的影响 任丙彦,左燕,霍秀敏,励旭东,王文静,许颖,赵玉文,朱惠民,傅洪波
高温快速热处理对氧沉淀消融的作用 林磊,杨德仁,马向阳,李立本,阙端麟
快速退火气氛对300mm硅片内洁净区和氧沉淀形成的影响 冯泉林;史训达;刘斌;刘佐星;王敬;周旗钢;
快速热处理对重掺锑硅片中氧沉淀的影响 孙世龙;郝秋艳;滕晓云;王海云;孙海知;刘彩池;
大规模集成电路用直拉硅单晶的缺陷工程 余学功
硅基微聚合酶链式反应芯片的热设计、分析和优化 王玮
直拉硅单晶的氧沉淀及内吸杂的研究 崔灿
硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究 王海燕
深亚微米级集成电路用大直径CZSi单晶中微缺陷的研究 郝秋艳
大规模集成电路用同族元素掺杂直拉硅单晶的微缺陷及其缺陷工程 陈加和
氧碳含量对太阳电池光电转换效率影响的研究 霍秀敏
大直径CZ-Si中流动图形缺陷微观形貌及其高温快速退火行为的研究 张建峰
高固相含量SiC陶瓷料浆的制备及其胶态成型工艺的研究 郭兵健
铸造多晶硅材料中氧缺陷的研究 俞征峰
快速热处理对重掺杂硅片中氧沉淀的影响 孙世龙
快中子辐照掺氮直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研究 刘丽丽
热处理工序对晶硅太阳电池光电转换效率影响的研究 傅洪波
RTP系统传热学仿真及实验研究 颜炜
微流控芯片技术在生命科学研究中的应用 王立凯,冯喜增
多孔硅的干燥方法 虞献文,朱荣锦,朱自强,应桃开,李爱珍
磷铝吸杂在多晶硅太阳电池中的应用 赵慧,徐征,励旭东,李海玲,许颖,赵玉文,王文静
多孔硅的光电性质及在太阳能电池中的应用 王海燕,孙晓峰,张宇翔,李维强,卢景霄
电子束加工技术及其在表面工程中的应用 张文峰,朱荻
多孔硅的电致发光研究 张甫龙,郝平海,史刚,侯晓远,丁训民,黄大鸣,王迅
多孔硅发强可见光的新物理模型 秦国刚,贾勇强
经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性 刘小兵,熊祖洪,史向华,袁帅,廖良生
基于神经网络方法的半导体生产工艺优化 王向东,陈咏梅,王守觉,石林初
钝化多孔硅的光致发光 李宏建,彭景翠,许雪梅,瞿述,夏辉
用半导体工艺制作硅微通道板 端木庆铎;田景全;姜德龙;李野;卢耀华;富丽晨;
硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究 王海燕
直拉单晶硅内吸杂研究 汤艳
多孔硅的光电特性研究及阵列化多孔硅的制备 方斌
多孔硅光伏效应的研究 向梅
多孔硅的制备及稳定化研究 贾金涛
磷铝吸杂及HIT晶硅太阳电池高转换效率机理研究 赵秀玲