【学位授予单位】：浙江师范大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2013
【分类号】：TM914.4
【目录】：
- 摘要3-5
- ABSTRACT5-7
- 目录7-9
- 第一章 绪论9-16
- 1.1 太阳能电池的发展和现状9-15
- 1.1.1 太阳能电池的研究背景9-10
- 1.1.2 太阳能电池原理简介10-11
- 1.1.3 太阳能电池的发展11-13
- 1.1.4 太阳能电池的研究现状和发展趋势13-15
- 1.2 本论文的主要研究内容15-16
- 第二章 金属诱导非晶硅晶化研究16-34
- 2.1 金属诱导非晶硅薄膜晶化概述16-18
- 2.2 实验方法和仪器简介18-20
- 2.2.1 样品制备仪器18
- 2.2.2 分析测试仪器18-20
- 2.3 金属铝诱导非晶硅薄膜晶化20-25
- 2.3.1 实验方法21-23
- 2.3.2 退火温度对晶化的影响23-25
- 2.4 锡诱导非晶硅晶化25-31
- 2.4.1 实验方法26-27
- 2.4.2 退火温度对晶化的影响27-31
- 2.5 基于AIC制备多晶硅薄膜的初步研究31-33
- 小结33-34
- 第三章 浙江师范大学PECVD仪器设计和调试34-49
- 3.1 等离子体化学相沉积系统简介34-37
- 3.1.1 PECVD原理简介34-36
- 3.1.2 PECVD沉积氢化非晶硅原理简介36-37
- 3.2 浙江师范大学PECVD设计方案37-38
- 3.3 PECVD4000型薄膜沉积系统介绍38-48
- 3.3.1 非晶硅薄膜的主要制备工艺43-44
- 3.3.2 非晶硅薄膜材料的结构44-45
- 3.3.3 非晶硅薄膜材料的电学特性45-48
- 小结48-49
- 第四章 硅基薄膜太阳能电池的初步研究49-52
- 4.1. PIN结构非晶硅薄膜太阳能电池原理简介49-50
- 4.2 初步制备PIN结构非晶硅薄膜太阳能电池50-51
- 小结51-52
- 第五章 工作总结及展望52-53
- 参考文献53-58
- 研究生期间的主要工作58-59
- 致谢59-61
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