【摘要】：本文设计了一种太阳能硅片厚度与翘曲度检测装置,阐述了厚度与翘曲度的检测方法,分析了检测过程中存在的问题,并通过算法优化,提出了一种可靠的解决方案。实践表明,该算法可有效地抑制振动因素,从而提高了测量精度。
【作者单位】：
台州市计量技术研究院;
【关键词】： 厚度 翘曲度 振动 算法
【分类号】：TP274;TB535
【正文快照】：
【关键词】： 厚度 翘曲度 振动 算法
【分类号】：TP274;TB535
【正文快照】：
The Research of Measurement Method and Vibration Suppressionfor Silicon Wafer Thickness and WarpZheng Bowen Xu Xin Zhou Bo Ying Xian0引言太阳能是一次可再生能源,取之不尽,用之不竭,且不会对环境造成污染。太阳能使人类拥有了一种新的生活方式,为人类使用新能源提
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