【摘要】：正太阳能电池的制造过程中,晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后,这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义:为了得到高生产力,保证最低破损率下的最短周期是个困难的问题,只能通过使用最高水平的机械自动化来实现。
【关键词】：
TS SCARA;机械自动化;清洗装置;创新应用;制造过程;破损率;系统制造商;晶体硅;多晶硅片;系统集成;
【分类号】：TP242;TM914.4
【正文快照】：
【分类号】：TP242;TM914.4
【正文快照】：
太阳能电池的制造过程中,晶片要经历各种湿化学工艺。在进入半导体清洗装置前后,这些薄硅片都是由机器人进行操作的。在此对需求给出清晰定义:为了得到高生产力,保证最低破损率下的最短周期是个困难的问题,只能通过使用最高水平的机械自动化来实现。太阳能电池生产对自动化操
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