【关键词】： 硅薄膜 硅纳米晶 SiNx/Si纳米多层膜 磁控溅射
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010) 西安理工大学科研基金资助项目(101210703)
【分类号】：O484.1
【正文快照】：
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