【学位授予单位】：上海交通大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2013
【分类号】：TB383.1;TM914.4
【目录】：
- 摘要6-8
- Abstract8-12
- 第一章 绪论12-26
- 1.1 光伏技术简介12-16
- 1.1.1 光伏技术的发展与应用背景12-14
- 1.1.2 光伏器件的基本原理与参数14-16
- 1.2 碳纳米管简介16-18
- 1.3 碳纳米管在光伏领域中的应用18-22
- 1.3.1 CNT在无机光伏器件中的应用18-19
- 1.3.2 CNT在有机光伏器件中的应用19-21
- 1.3.3 CNT在微纳尺度光伏器件中的应用21-22
- 1.4 本文研究的主要内容22
- 1.5 本章小结22-23
- 参考文献23-26
- 第二章 单壁碳纳米管原料的表征26-33
- 2.1 单壁碳纳米管的结构形貌26-27
- 2.2 单壁碳纳米管的拉曼特性27-30
- 2.3 单壁碳纳米管的光吸收特性30-32
- 2.4 本章小结32
- 参考文献32-33
- 第三章 器件的制作与工艺33-47
- 3.1 器件结构设计33-34
- 3.2 器件的制作流程34-35
- 3.3 电子束光刻工艺35-39
- 3.3.1 电子束光刻简介35-36
- 3.3.2 电子束抗蚀剂36-37
- 3.3.3 曝光参数37-38
- 3.3.4 电子束套刻技术38-39
- 3.4 金属溅射39-43
- 3.4.1 金属溅射原理39-40
- 3.4.2 溅射条件的影响40-41
- 3.4.3 剥离工艺41-43
- 3.5 其它工艺43-44
- 3.5.1 单壁碳纳米管的选取与定位43
- 3.5.2 背栅极的制作43-44
- 3.5.3 高温退火处理44
- 3.6 本章小结44-45
- 参考文献45-47
- 第四章 器件的电学特性研究47-60
- 4.1 对称结构单壁碳纳米管场效应晶体管47-52
- 4.1.1 Pd/SWNT/Pd对称结构47-49
- 4.1.1.1 器件形貌47-48
- 4.1.1.2 电学特性测试48
- 4.1.1.3 理论分析48-49
- 4.1.2 Al/SWNT/Al对称结构49-52
- 4.1.2.1 器件形貌49-50
- 4.1.2.2 电学特性测试50-51
- 4.1.2.3 理论分析51-52
- 4.2 非对称结构场效应晶体管52-58
- 4.2.1 Pd/SWNT/Al52-55
- 4.2.1.1 器件形貌52-53
- 4.2.1.2 电学测试结果53-54
- 4.2.1.3 理论分析54-55
- 4.2.2 金属性SWNT的影响55-56
- 4.2.3 SWNT带隙的影响56-58
- 4.3 本章小结58-59
- 参考文献59-60
- 第五章 器件的光伏特性研究60-66
- 5.1 光伏特性测试准备60-61
- 5.2 光伏特性测试结果61-62
- 5.3 理论计算与分析62-64
- 5.4 本章小结64-65
- 参考文献65-66
- 第六章 总结及展望66-68
- 6.1 论文总结66-67
- 6.2 展望67-68
- 致谢68-69
- 攻读硕士期间发表论文69
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