【摘要】：正一、背景大型蒸发镀膜设备容积大,气体负载重,要求真空泵的抽速达到几万L/s。目前,该设备普遍采用高能耗的大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵抽气,每台设备,年耗电30~50万度。仅珠三角地区,在用大型蒸发镀膜设备超过1,000台,年耗电超过4亿度!除此之外,扩散泵和罗茨泵的油蒸汽污染严重,导致膜层色泽泛黄,影响产品质量。近年来,部分设备开始采用水汽泵和扩散泵组合抽气,抽气时间缩短,油蒸汽污染也有所下降,但能耗更高,因此,未能广泛应用。
【作者单位】：深圳大学物理科学与技术学院
【基金】：广东省产学研基金 深圳市产学研基金项目
【分类号】：TB306
【正文快照】：
【基金】：广东省产学研基金 深圳市产学研基金项目
【分类号】：TB306
【正文快照】：
一、背景大型蒸发镀膜设备容积大,气体负载重,要求真空泵的抽速达到几万L/s。目前,该设备普遍采用高能耗的大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵抽气,每台设备,年耗电30?50万度。仅珠三角地区,在用大型蒸发镀膜设备超过1,000台,年耗电超过4亿度!除此之外,扩散泵和罗茨泵的油蒸汽污染严重,
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