【关键词】： 三氯氢硅 精馏 节能 减排 硼含量 经济效益
【基金】：国家科技支撑计划课题子课题(2006BA109B07-01) 国家973计划资助项目(2007CB714304)
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】：
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