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单晶炉热场装置的节能技术应用

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【摘要】:正【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备,单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅,石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原有18英寸及20英寸单晶炉热场系统的加热温区梯度、加热器的材料、电阻加热器和保温材料温度传导性的研究,提出通过改变单晶炉热场抽气口、改变保护气体流动方向、设计新型辐射隔绝导流筒和重新选择加热
【作者单位】:新疆新能源股份有限公司
【分类号】:TF806.9
【正文快照】:
.J,,.j,合尝已q,,二勺.曰.夕产J、,J沙、.,J IJ一护、价.,.~J【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备,单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅,石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原有18英寸及20英寸单晶炉热场系统


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