【关键词】： 高纯多晶硅 制备 提纯 生产与发展 回收再利用
【基金】：国家863计划基金项目2006AA05Z409 广东省科技计划资助项目(2007A010700002)
【分类号】：TB321
【正文快照】：
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用两次键合技术制备均匀单晶硅膜 何芳;黄庆安;秦明;
凹槽中化学镀铜 秦毅红,韦顺文,石西昌,王赛,李竹英
用冷等离子体结合湿法冶金制备太阳级硅材料 尹盛,何笑明
集成电路芯片(IC)压印光固离子刻蚀法研究 段玉岗,丁玉成,卢秉恒,王立永
面向订单的硅材料生产计划自动生成系统 董森华,向采兰,孔玮曼,郝玉清
MEMS封装技术 张昱,潘武
硅太阳电池材料的研究进展 王晓晶,班群,沈辉
冷等离子体提纯硅粉薄层的实验研究 尹盛,冯信华,何笑明,陈丽,王敬义
微细金属图形制作中的剥离技术 王文如,杨正兵
硅粉在冷等离子体中的刻蚀纯化 王家鑫;尹盛;王飞;王敬义;
集成电路(IC)压印制造用光固化刻蚀胶的研究 段玉岗;丁玉成;卢秉恒;
硅衬底的化学机械抛光工艺研究 谭刚;吴嘉丽;
N_2、Ar气氛下快速退火处理硅片获得洁净区和氧沉淀的研究 冯泉林;刘斌;肖清华;周旗钢;
激光直写光刻技术研究 李凤有
新型MIp～+-Al_（0.3）Ga_（0.7）As/p-n-n～+-GaAs结构太阳电池电子及辐照效应研究 涂洁磊
InP-SiO_2三维光子晶体的MOCVD法制备和表征 谭春华
变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用研究 楼俊
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约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究 蒋利民
快速热处理对直拉单晶硅中氧沉淀和内吸杂的影响 符黎明
GaInP_2/GaAs/Ge级联太阳电池的MOCVD生长研究 李辉
氮对直拉硅单晶中氧化诱生层错的影响 储佳
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计 颜黄苹
中子辐照微氮直拉硅单晶辐照效应的研究 吴承龙
采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究 赵晓锋
重掺砷硅单晶中氧沉淀及诱生缺陷的研究 张红娣
掺氮直拉单晶硅中氧沉淀及其诱生缺陷的行为研究 王宏杰
物性参数对硅单晶CZ法生长过程影响的全局数值分析 余长军
半绝缘InP单晶的Fe掺杂激活及缺陷研究 苗杉杉
低温熔盐电解石英光纤废料制备太阳能级硅的研究 刘仪柯
表面增强拉曼光谱的研究进展 任斌,田中群
TiO_2电解制取Ti的热力学研究 聂新苗;董凌燕;白晨光;陈登福;邱贵宝;
钕电解相关物质理论分解电压的计算 刘奎仁,陈建设,魏绪钧
太阳能电池及多晶硅的生产 张明杰;李继东;陈建设;
钙熔盐电解过程中石墨阳极保护涂层研究 曾桂生,杨大锦,谢刚
激光拉曼光谱及其应用进展 刘玲
太阳能级硅制备新技术研究进展 马文会;戴永年;杨斌;刘大春;王华;
多孔硅多晶硅太阳电池研究 刘祖明,苏里曼.K.特拉奥雷,王书荣,廖华,胡志华,李迎军,陈庭金,汪义川,罗毅
太阳能电池及材料研究和发展现状 汪建军;刘金霞;
定向凝固法生长太阳电池用多晶硅的经济分析 余夕同,唐厚舜
熔盐电解TiO_2制取海绵钛新技术研究 郭胜惠
太阳能级多晶硅的冶金制备研究 吴亚萍
船舶振动数据采集监测网络系统的研究 任永杰
太阳电池用晶体硅中的氧和金属杂质对电池性能的影响 孙海知
冶金法制备太阳能级多晶硅工艺研究 徐云飞
冶金法制备多晶硅的晶体生长及其杂质缺陷研究 徐文婷
纳米MnO_2的制备和表征的综合实验 汤宏伟;常照荣;魏献军;
颗粒增强金属基复合材料的研究及应用 田治宇;
专利信息
纳米三氧化二铁的制备方法小结 党胜男;王悦;
纳米银的制备及应用研究进展 徐进之;蔡继业;
空心球纳米材料的制备及其在环境保护中的应用现状 宋春燕;李岚;熊红英;陈孝彦;马晓蕾;庹先梅;
纳米TiO_2制备在环境保护中的应用 史志强;
纳米级超细粉末的制备 陈祖耀;张大杰;钱逸泰;
用化学共沉淀法制备Ag-W复合粉 曾德麟;周红翠;
纳米材料的制备及在化工方面的应用 王贵军
含纳米二氧化钛微粒的活性炭纤维及其制备方法和用途
硬组织植入金属多孔材料制备方法研究进展 刘杰;汤慧萍;王建;杨坤;杨保军;李亚宁;王辉;
纳米氧化物中高形成能本征点缺陷的制备方法 方明;
多孔金属材料的制备方法及研究进展 黄春瑛;王志峰;赵维民;蔚成全;李海鹏;
纳米化对Ag-50Ni在HCl介质中的腐蚀电化学行为的影响 曹中秋;于龙;张轲;张媛;
一维氧化铝纳米棒的制备研究进展 孟范成;刘丞;张晓磊;肖万林;黄伟九;
三维CuO纳米梭的水热合成及其电学性质的研究 李波;彭静;王博;邢艳;
冷壁法制备碳纳米管场致发射体 高峰;肖梅;张晓兵;
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一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法
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热致变色可变发射率材料的制备方法与性能分析 匡柳
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