【关键词】： 磁控溅射 物理气相沉积 AlN薄膜 选择性吸收膜
【基金】：表面工程技术国家级重点实验室基金项目(9140C540105080C5402)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】：
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超薄Al膜和AlN薄膜的光学性质及相关问题的研究 付光宗
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