【关键词】： 纳米硅薄膜 等离子体增强化学气相沉积 沉积理论 性能
【基金】：江西省教育厅青年基金项目(编号:GJJ11258)
【分类号】：TM914.4
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大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 葛洪;张晓丹;赵静;赵颖;
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用SiCl_4/H_2沉积纳米晶硅薄膜过程中氢稀释量对SiCl_n(n=0～2)密度的影响 娄艳辉;王照奎;林揆训;林璇英;
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微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用 俞远高;侯国付;王锐;薛俊明;赵颖;耿新华;杨瑞霞;
纳米硅薄膜太阳能电池的绒面结构研究 贾士亮;张维佳;刘浩;张心强;郭卫;吴倞;
单室沉积p-i-n型微晶硅薄膜太阳电池性能优化的研究 张晓丹;孙福和;许盛之;王光红;魏长春;孙建;侯国付;耿新华;熊绍珍;赵颖;
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面向下一代光伏产业的硅太阳电池研究新进展 沈文忠;
高电导率P型纳米硅薄膜的制备及其在薄膜太阳电池中的应用 杨东杰;张维佳;林军;Jean Jacques HAVUGIMANA;刘嘉;孙月峰;马强;
射频溅射法制备纳米硅(nc-Si:H)薄膜的研究 于化从;崔容强;赵占霞;周之斌;孟凡英;赵百川;程君;谭慧萍;蔡峰林;
高品质AZO制备及其在硅基薄膜太阳电池中的应用 林军;张维佳;杨东杰;Jean Jacques HAVUGIMANA;孙月峰;刘嘉;马强;
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薄膜太阳能电池的研究现状和展望 徐轶;朱德贵;
PECVD法制备氮化硅减反射膜研究 王晓泉;汪雷;席珍强;杨德仁;
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