【关键词】： 等离子体增强化学气相沉积 纳米非晶硅 硼掺杂 掺杂比 光学带隙
【基金】：国家重点基础研究发展计划(No.2007CB613403)(973计划) 浙江省科技计划项目纳米技术攻关及示范应用专项(No.2006C11118) 高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目(No.705026)
【分类号】：O484.1
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