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制取去离子水和超纯水需要采用去离子水处理设备，原理简单来说就是去除水中含有的离子，一般原水中还有的离子，大概有钙离子，钠离子，重碳酸根离子，镁离子，氯离子等等。去除水中离子的同时将原水的电导率降低，电阻率升高。各行业对出水的水质不一样，所以去离子水设备，所选择的工艺不一样，费用也就不一样。去离子水处理设备也可称为纯水设备，反渗透设备，超纯水设备。
去离子水和超纯水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取，在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。
去离子水处理设备运行步骤：
以自来水为原水来制取去离子水，一般要经过几步处理
1、先通过石英砂跟活性炭过滤器降低水的浊度跟游离氯含量;
2、高压通过反渗透膜降低含盐量;
3、紫外杀菌以去除水中的微生物;
4、如果这时假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程。最高电阻率基本上可以达到用水需求。
去离子水与蒸馏水相比较，制取去离子水的设备更加简单，并且化学纯度高，非常适合半导体行业用水。与蒸馏水不同的是去离子水不能直接用于注射用水，只能作为注射用水的原水。
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