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请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
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【专家解说】:
PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体辅助化学气相沉积 我们公司就是做这个的.
关键词:
太阳能电池
薄膜
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