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非晶硅薄膜太阳能板 非晶硅太阳能板 非晶硅太阳能电池片 非晶硅太阳能 非晶硅太阳能发电板 非晶硅太阳能片 非晶硅太阳能价格 非晶硅太阳能组件【专家解说】：P层：硅烷、硼烷、甲烷、氢气。
I层：硅烷、氢气。
N层：硅烷、磷烷、氢气。
清洗吹扫腔体用氩气、三氟化氮、氢气等。
破空吹扫：氮气。
真空工艺气体：氢气。