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太阳能薄膜电池的靶材原料技术问题

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【专家解说】:1.现在又两种方法来生产靶材,一是喷涂法,二是烧结法 ZnO和Al为原料是制备太阳能电池前电极所需的TCO玻璃所用的靶材,常规掺铝量有1%,1.5% 和2% 2.现在国内的靶材,最主要的缺陷大概就是绑定靶材的烧结质量问题,在进行高温溅射时会发生靶材的裂开,及外层靶材与靶管脱落。使得绑定材料氧化铟污染真空腔体。 3,这就不晓得了!

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