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非晶硅薄膜太阳能电池工艺过程中用到哪些设备

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【专家解说】:磨边机,清洗机,预热炉,PECVD(沉积炉),PVD(磁控溅射)或者是LPCVD 来做透明电极,退火炉,测试机,滚焊机,层压机。 很重要的一个 激光划线机 这样就全面了

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