多晶硅太阳能电池片扩散工艺电阻调试原理

【专家解说】：方块电阻偏高，调节（提高）扩散炉管炉温； 方块电阻偏低，降低炉温； 方块电阻的大小还可以通过磷源量的大小调节，现在都控制在70左右。