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日本采用VLD技术生产太阳能级多晶硅;德国Wacker公司以TCS为源的制备太阳能级的工作流程
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【专家解说】:
VLD我不是很清楚但是TCS是指三氯氢硅,就是以三氯氢硅为原料制备多晶硅。
关键词:
能级
太阳
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