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急:非晶硅薄膜太阳能电池生产要用到哪些特气?

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【专家解说】:P层:硅烷、硼烷、甲烷、氢气。 I层:硅烷、氢气。 N层:硅烷、磷烷、氢气。 清洗吹扫腔体用氩气、三氟化氮、氢气等。 破空吹扫:氮气。 真空工艺气体:氢气。

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