东江环保原创BOE废液资源化处理方法获国家发明专利授权

8月12日，东江环保自主研发的“一种BOE废液的资源化处理方法”正式获得国家知识产权局发明专利授权。此项专利技术的突破，标志着公司在半导体蚀刻废液高值资源化领域取得重要进展。

BOE（缓冲氧化物蚀刻液）是半导体行业硅片图案蚀刻的关键耗材，失效后即成为危险废液。传统“中和-填埋”模式不仅浪费了废液中氟化物、氨氮等宝贵资源，还伴随氟离子残留、氨气逸散及高昂填埋费用等行业痛点。

东江环保原创开发的BOE废液资源化处理方法成功破解上述难题。其核心优势在于：一是创新性实现废液中主要成分的协同回收与高值转化；二是彻底去除氟离子，显著降低了对后续蒸发器等设备的腐蚀风险；三是通过工艺设计有效控制氨气无组织排放，环境友好性显著提升；四是所得冰晶石等资源化产品纯度符合相关国家标准，具备良好的市场应用前景。

目前，该项技术已在东江环保所属江西东江实现产业化应用，累计协同处置BOE废液约200吨，吨处理收益较传统无害化方式提高1000元。基于该专利技术的“复杂BOE废液协同铵盐母液绿色增值资源化回收关键技术及产业化应用”项目成功获批江西省政府课题支持。下一步，公司将持续优化结晶控制及多源协同工艺，加速冰晶石、氟化钙等产品技术的规模化应用及复制拓展，全面提升资源化利用率与经济效益。

此项专利的授权，不仅是东江环保在新型危废资源化领域的技术里程碑，更是公司深耕“无废城市”建设、以创新引擎驱动产业链绿色低碳转型的又一力证。接下来，东江环保将持续践行广晟控股集团FAITH经营理念，以科技赋能循环经济，为我国高端制造与生态文明协同共进贡献力量。