西北首条硅光中试线正式通线

日前，陕西光电子先导院宣布其建设的8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线，成为西北地区首条硅光中试线，将为国内光子产业各类创新主体提供多种类型光电、硅光芯片的研发和中试服务。

“硅光技术是人工智能算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑，正处于技术突破与应用落地的关键期，但产业发展长期受限于中试资源集中的困境。”陕西光电子先导院总经理杨军红说，全球硅光中试资源大多掌握在欧美企业手中，国内企业依托国外平台流片要支付高昂的费用，且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题。自建产线则要巨额投入，这让中小企业和科研团队望而却步。

2023年，陕西光电子先导院总投资7.5亿元启动建设8英寸先进硅光集成技术平台，并引入光刻、刻蚀、离子注入、介质填充、金属化等60多台(套)关键核心设备，构建起自主可控的先进工艺体系。

目前，陕西光电子先导院已解决100余家初创企业“研发难、流片难”的问题。此次硅光中试线的启用，更被视为向“高质量集群发展”迈进的关键落子——通过中试能力的完善，陕西将进一步吸引产业链上下游企业集聚，加速形成“材料-芯片-应用”的产业闭环。

“海外代工厂满足不了企业研发阶段的高度定制化需求，但在陕西进行中试，排队时间短、效率高，速度比在国外快5倍以上。”深圳瑞识智能科技有限公司董事长汪洋说。

“未来，平台将大幅缩短光电、硅光客户的流片周期和降低研发成本。”杨军红说，目前平台已经与十多家头部企业达成意向合作协议，并吸引了多家外地企业集聚陕西。