【摘要】：摘要：本文中对N型掺杂的单晶硅硅片进行不同尺寸的制绒,然后使用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)在制绒后的硅片表面沉积非晶硅薄膜,非晶硅薄膜和晶体硅构成非晶-晶体硅异质结。作者观察了未沉积非晶硅薄膜的硅片表面制绒尺寸,测试了制绒后晶体硅表面的反射率,以及沉积非晶硅薄膜之后表面的少子寿命,通过少子寿命来评估异质结太阳能电池的效率水平。最后讨论制绒尺寸对异质结太阳能电池的影响,得出4-6微米的金字塔尺寸最适合所选用的非晶硅工艺。
【关键词】：N型晶体硅 制绒 异质结太阳能电池 少子寿命
【学位授予单位】：复旦大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2014
【分类号】：TM914.41
【目录】：
【学位授予单位】：复旦大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2014
【分类号】：TM914.41
【目录】：
- 摘要3-4
- Abstract4-6
- 第一章 引言6-16
- 1.1 太阳能电池研究的背景6
- 1.2 太阳能电池发电的历史及分类6-8
- 1.3 高效太阳能电池技术8-11
- 1.4 异质结太阳能电池介绍11-15
- 1.5 本论文研究内容15-16
- 第二章 硅片的制绒16-25
- 2.1 硅片制绒的介绍16
- 2.2 硅片样品的制绒16-19
- 2.3 样品制绒后表面的观察19-25
- 第三章 制绒硅片上沉积非晶硅层25-30
- 3.1 非晶硅薄膜的介绍25
- 3.2 非晶硅薄膜材料制备方法25-26
- 3.3 异质结用非晶硅沉积工艺26-27
- 3.4 硅片制备非晶硅层前预处理27
- 3.5 非晶硅层的沉积过程27-30
- 第四章 对非晶硅晶体硅异质结的测试30-33
- 4.1 少子寿命测试简介30-31
- 4.2 本实验样品的测试以及结果31-33
- 第五章 实验结果与分析33-36
- 参考文献36-38
- 致谢38-39
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