【学位授予单位】：哈尔滨工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2011
【分类号】：TP241.2
【目录】：
- 摘要4-5
- ABSTRACT5-8
- 第1章 绪论8-18
- 1.1 课题研究的背景8-9
- 1.2 课题的目的及意义9
- 1.3 机器人概述9-12
- 1.3.1 机器人的分类9-10
- 1.3.2 国外机器人发展状况10-11
- 1.3.3 我国机器人发展状况11-12
- 1.4 硅片传输机械手相关技术及发展状况12-15
- 1.4.1 硅片传输机械手的发展12-15
- 1.4.2 硅片传输机械手的发展趋势15
- 1.5 机械手运动轨迹规划概述15-16
- 1.5.1 机械手轨迹规划方法概述15-16
- 1.5.2 机械手时间最优轨迹规划方法16
- 1.6 本文的主要研究内容16-18
- 第2章 机械手机电系统的设计18-31
- 2.1 引言18
- 2.2 三自由度机械手的机械系统设计18-26
- 2.2.1 机械手坐标形式的分析18-20
- 2.2.2 机械手机械结构的设计20-23
- 2.2.3 结构形变误差的分析23-26
- 2.3 三自由度机械手的电气系统设计26-30
- 2.3.1 负载转矩及转动惯量26-27
- 2.3.2 电气系统执行部件的选择27-28
- 2.3.3 机械手驱动控制系统的设计28-30
- 2.4 本章小结30-31
- 第3章 机械手运动轨迹规划及插补算法31-42
- 3.1 引言31
- 3.2 机械手轨迹规划31-37
- 3.2.1 轨迹规划方法31
- 3.2.2 三自由度机械手时间最优轨迹规划31-37
- 3.3 机械手运动轨迹插补37-41
- 3.3.1 直线和圆弧运动轨迹插补38-40
- 3.3.2 插补运动轨迹的执行40-41
- 3.4 本章小结41-42
- 第4章 系统的软件设计及实验42-59
- 4.1 引言42
- 4.2 顺序程序设计42-51
- 4.2.2 控制系统流程图42-45
- 4.2.3 PLC存储空间分配45
- 4.2.4 插补流程45-47
- 4.2.5 系统的软件程序设计47-51
- 4.3 系统实验51-56
- 4.3.1 电气系统测试实验51-53
- 4.3.2 单轴实验53
- 4.3.3 步进电动机联动实验53
- 4.3.4 定位实验53-55
- 4.3.5 抓取实验55-56
- 4.4 系统的误差分析及脉冲补偿法56-57
- 4.4.1 误差分析56-57
- 4.4.2 脉冲补偿法57
- 4.5 本章小结57-59
- 结论59-60
- 参考文献60-64
- 攻读硕士学位期间发表的论文64-66
- 致谢66
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