【关键词】： 多晶硅 退火 位错密度 晶界
【基金】：国家自然科学基金委员会-云南省人民政府联合基金(U1137601) 教育部科学技术研究重点项目(212159) 浙江大学硅材料国家重点实验室开放基金(SKL2009-8)
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】：
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