【摘要】:设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m~3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m~3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.
【作者单位】:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;微系统技术国家实验室;中国科学院固体物理研究所;
【关键词】: 甲烷传感器 微加热器平台 原位制备二氧化锡 模板法 微纳融合
【基金】:国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01) 国家自然科学基金创新群体项目(61321492);国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304)
【分类号】:TP212.2
【正文快照】:
【关键词】: 甲烷传感器 微加热器平台 原位制备二氧化锡 模板法 微纳融合
【基金】:国家科技支撑计划课题(2012BAJ11B01) 国家自然科学基金创新群体项目(61321492);国家自然科学基金重大研究计划集成项目(91323304)
【分类号】:TP212.2
【正文快照】:
0引言随着工业现代化的发展和人们生活水平的不断提高,易燃、易爆、有毒有害气体的检测对于日常生活、安全监控、环境保护和系统过程控制等方面显得越来越重要.甲烷(CH4)是天然气、沼气和多种液体燃料的主要成份,在工业领域和日常生活中广泛应用,是典型的易燃易爆气体,使得对
您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容
具有温度及压力补偿的矿用红外甲烷传感器设计 刘炎;张立斌;蒋泽;
煤矿矿井安全监控的耳目——甲烷传感器 周仲柏;
新型高可靠性甲烷传感器设计 程勇,王勉华
催化燃烧型甲烷传感器的研究 丁黎明;赵景波;
新型“红外甲烷传感器”通过新产品鉴定
载体催化式甲烷传感器的元件特征与使用应注意的问题 史金新;
红外甲烷传感器与催化甲烷传感器性能比较研究 卓邦远;吕贤帝;刘海波;
催化燃烧式甲烷传感器的催化剂担载方法和可靠性初探 张轶群;于英硕;孙鉴波;许婧;刘凤敏;卢革宇;
采掘工作面甲烷传感器高值原因与对策 杜红杰;刘建平;
一种新型高可靠性甲烷传感器设计 程勇;张玉峰;
一种反射式多模干涉型光纤甲烷传感器 李姗雅;黎学明;杨建春;
为矿工送上“革命性”的安全感 陈全育
阳城:一科研成果达国内领先水平 卫俊波
新型甲烷传感器 彭瑞
心系祖国 高扬创新旗帜 韩喜球
基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究 刘修振
基于反射光模型的红外甲烷传感器系统研制 王昱东
高性能燃烧催化剂的制备及其甲烷气敏特性的研究 张轶群
红外技术在智能化甲烷传感器中的应用研究 胡洋
光纤甲烷传感器的信号处理方法 王俏
便携式红外甲烷检测装置研究与设计 李云成
煤矿智能红外甲烷传感系统的设计与实现 兰天