【学位授予单位】：重庆理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2015
【分类号】：O484.1
【目录】：
- 摘要4-5
- Abstract5-10
- 1 绪论10-20
- 1.1 ZnO简介10-11
- 1.2 ZnO薄膜制备方法介绍11-12
- 1.2.1 磁控溅射法(MS)11
- 1.2.2 金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)11-12
- 1.2.3 脉冲激光沉积法(PLD)12
- 1.2.4 分子束外延法(MBE)12
- 1.2.5 溶胶凝胶法(Sol-gel)12
- 1.2.6 喷雾热解法(SP)12
- 1.3 衬底温度在SP法制备Zn O薄膜过程中的重要性12-15
- 1.4 ZnO薄膜在聚合物太阳能电池(PSC)中的应用15-18
- 1.4.1 PSC简介15
- 1.4.2 体异质结PSC的结构与工作原理15-17
- 1.4.3 PSC的主要性能参数17
- 1.4.4 ZnO薄膜作为PSC器件ETL的性能17-18
- 1.5 本文主要研究工作18-20
- 2 SP法制备ZnO薄膜的基础及表征20-24
- 2.1 SP技术的设备与工作原理20-21
- 2.2 衬底温度对ZnO薄膜沉积过程的影响21-22
- 2.3 主要原料及相关仪器检测设备22-23
- 2.3.1 主要原料与设备22
- 2.3.2 Zn O薄膜的主要表征手段与设备22-23
- 2.4 本章小结23-24
- 3 基于可溶性锌盐溶液SP法制备ZnO薄膜研究24-38
- 3.1 基于Zn(NO3)2 溶液SP法制备Zn O薄膜工艺流程24-28
- 3.1.1 前驱液配置24
- 3.1.2 衬底清洗24-25
- 3.1.3 ZnO薄膜的制备25-28
- 3.2 衬底温度对ZnO薄膜的结构与形貌影响28-29
- 3.2.1 ZnO薄膜晶体结构28
- 3.2.2 ZnO薄膜的表面、断面形貌28-29
- 3.3 衬底温度对ZnO薄膜的性能影响29-31
- 3.3.1 ZnO薄膜光学性能29-30
- 3.3.2 ZnO薄膜电学性能30-31
- 3.4 其他制备工艺参数对制备ZnO薄膜的影响31-33
- 3.4.1 前驱液浓度的影响31-32
- 3.4.2 影响薄膜宏观形貌的因素32
- 3.4.3 衬底材质的影响32-33
- 3.4.4 ZnO薄膜的掺杂33
- 3.5 ZnO薄膜作为PSC器件ETL的性能33-37
- 3.5.1 ZnO ETL制备33
- 3.5.2 PSC器件制备33-35
- 3.5.3 PSC器件的性能测试35-37
- 3.6 本章小结37-38
- 4 低温超声喷雾热解法(LT-USP)制备Zn O薄膜及其对反型PSC器件性能的影响38-56
- 4.1 锌氨溶液的热稳定性研究38-39
- 4.2 LT-USP法制备ZnO薄膜的工艺39-42
- 4.2.1 前驱液的配制39-40
- 4.2.2 衬底的清洗40
- 4.2.3 Zn O薄膜的制备40-42
- 4.3 ZnO薄膜成分、结构、形貌和性能的表征42-49
- 4.3.1 成分分析42-44
- 4.3.2 结构分析44-45
- 4.3.3 表面和断面形貌分析45-48
- 4.3.4 Zn O薄膜光学性能分析48-49
- 4.4 基于LT-USP制备ZnO ETL的PSC器件49-55
- 4.4.1 Zn O ETL的制备49
- 4.4.2 PSC器件制备49-50
- 4.4.3 PSC器件的性能研究50-54
- 4.4.4 基于ZnO薄膜的大面积、柔性PSC器件初步研究54-55
- 4.5 本章小结55-56
- 5 总结与展望56-58
- 5.1 总结56-57
- 5.2 展望57-58
- 参考文献58-64
- 致谢64-66
- 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果66
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