(3)在线监测仪表。废水处理系统的稳定正常运行与在线监测仪表的正常工作是密切相关的。而在线监测仪表(尤其是pH计)的电极探头属易耗品，针对各子处理系统的废水特点应选用不同材质和防腐等级的电极探头。为确保其正常工作，需要由专人负责定期清洗、校正及更换。
4、环境经济效益比较
表2为A、B、C三家公司芯片生产废水处理效果情况对比。表3为A、B、C三家公司芯片生产废水处理工程投资及运行的成本对比(运行成本中不包含人工费与折旧费)，由表3可知，浓氨吹脱吸收工艺的一次性成本虽比稀氨化学氧化工艺要高，但从长远的角度来看，其较低的运行成本更具有经济效益的优势。将含氟废水与CMP研磨废水混合处理，节省了投资，若能在运行中有效控制其稳定性，可进一步提高其经济效益。
5、结论
芯片废水是伴随着工业的发展而产生的一种新型废水，通过对废水的分类收集和单独处理，可以实现芯片废水的总达标排放的目的。通过对各股废水处理工艺的实际处理情况的比较，以及各自的环境经济效益分析，得出芯片废水处理的最佳组合方案：浓氨吹脱吸收工艺—含氟废水两阶段沉淀工艺(含氟废水与CMP研磨废水混合处理)—三级酸碱中和处理工艺。
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